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真空熱壓機的真空泵

發(fā)布時間：

2022-11-03 11:46

真空熱壓機具備結(jié)構(gòu)緊湊、實際操作便捷等優(yōu)勢，應用控溫操縱加熱技術(shù)性，溫控精準，溫度采樣率為0.1s ；不銹鋼板作業(yè)平臺，上下邊整平，熱導速度更快，熱導均一，加熱總面積大，包含常見尺寸芯片，真空熱壓機全自動降溫系統(tǒng)軟件，選用水冷散熱降溫，降溫速度均一，有運用得到不錯的鍵合實際效果，真空熱壓機工作壓力全自動可調(diào)式，對于不一樣的原材料采用不一樣的工作壓力操縱；真空熱壓機選用與眾不同的真空泵壓合系統(tǒng)軟件，在確保芯片不毀壞的狀況下大大提高鍵合通過率：鑒于油式旋片泵在真空壓合工藝中存在著現(xiàn)在看來極為嚴重的缺陷（能耗高、維護量大，性能衰減快），那么，近幾年來，該行業(yè)越來越被業(yè)主所青睞的水環(huán)真空機組已是大勢所趨。
主要原因有：
1、水環(huán)泵無摩擦的特殊結(jié)構(gòu)（泵體和葉片間為非接觸）、無耗材，維護成本極低；
2、水環(huán)泵對抽氣介質(zhì)的高溫相對不敏感；
3、水環(huán)泵對抽氣介質(zhì)中的雜質(zhì)不敏感；
4、當水環(huán)泵與羅茨泵組合使用時其能耗低（即單位功率所產(chǎn)生的氣量大），并且在每次保壓結(jié)束時可以同時停泵（而油式旋片泵的情況卻是每次保壓結(jié)束后仍要空轉(zhuǎn)15分鐘），故其運行成本也相對較低。
在真空壓合工藝使用羅茨水環(huán)真空機組 ，維護成本極低

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